膜厚測定【電解式膜厚計、電磁式膜厚計、蛍光X線膜厚計】 | 検査体制

分析機器・検査機器名	保有台数	特徴・用途
電解式膜厚計	2	金属膜を溶かしながらその厚さを測定する
電磁式膜厚計	6	金属膜を破壊することなくその厚さを測定する
蛍光X線膜厚計	3	微細な場所にX線を当てることでその部分の膜厚を非破壊で測定する

平成16年1月現在